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納瑟(上海)納米科技有限公司
主營產(chǎn)品: 儀器儀表, 電子產(chǎn)品
Semilab-SE-2000型全光譜橢偏儀
價(jià)格
訂貨量(臺(tái))
¥1000000.00
≥1
店鋪主推品 熱銷潛力款
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SE-2000型全光譜橢偏測試平臺(tái)基于橢圓偏振測試技術(shù),通過樣品光學(xué)模型的建立,計(jì)算出單層或多層薄膜結(jié)構(gòu)的厚度、折射率和消光系數(shù),實(shí)現(xiàn)精確、快速、穩(wěn)定的寬光譜橢偏測試。
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SE-2000光譜橢偏儀是針對(duì)產(chǎn)線和實(shí)驗(yàn)室推出的多功能高速測試平臺(tái)測試平臺(tái)。模塊化的設(shè)計(jì),可選配300mm樣品臺(tái)或350*450mm平板樣品臺(tái),Robot上片系統(tǒng),圖形識(shí)別系統(tǒng)和數(shù)據(jù)通信系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)高速在線監(jiān)控。在測試功能方面,可自由組合多種從190nm深紫外光譜至2400nm近紅外光譜的探測器,并可拓展FTIR紅外光譜測試模組、渦電流法非接觸式或4PP接觸式方塊電阻測試模組、Mueller Matrix各項(xiàng)異性材料測試模組、Raman結(jié)晶率測試模組、電子遷移率表征模組、LBIC光誘導(dǎo)電流測試模組、反射干涉測試模組等多種功能,使SE-2000成為光學(xué)和電學(xué)特性表征綜合測試系統(tǒng)。 |
產(chǎn)品特點(diǎn)
| 業(yè)界第一家光譜型橢偏儀測試設(shè)備廠商 |
| 業(yè)界標(biāo)準(zhǔn)測試機(jī)構(gòu)定標(biāo)設(shè)備,參與發(fā)布中華人民共和國橢圓偏振測試技術(shù)標(biāo)準(zhǔn) |
| 業(yè)界最寬測試光譜范圍,選配190nm-25um,可自動(dòng)切換快速探測模式和高精度探測模式 |
| 配置實(shí)時(shí)對(duì)焦傳感器,實(shí)現(xiàn)高速測量 |
| 選配Robot上片系統(tǒng),圖形識(shí)別系統(tǒng)和數(shù)據(jù)通信系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)在線監(jiān)控 |
| 獨(dú)特的樣品臺(tái)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),優(yōu)化固定大尺寸的柔性材料 |
| 模塊化設(shè)計(jì),可綜合監(jiān)控樣品光學(xué)和電學(xué)特性 |
| 定期免費(fèi)升級(jí)材料數(shù)據(jù)庫 |
| 開放光學(xué)模型擬合分析過程,方便用戶優(yōu)化測試菜單 |
主要應(yīng)用
| 光伏行業(yè) |
| 半導(dǎo)體行業(yè) |
| 平板顯示行業(yè) |
| 光電行業(yè) |
主要技術(shù)指標(biāo)
| 最大樣品尺寸: 300mm |
| 厚度測量范圍:0.01nm-50um |
| 厚度測試精度: < 0.5nm |
| 折射率測試精度:< 0.005 |

