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人們早采用射頻探針技術(shù)與今天的工具是很不相同的，早期探針使用了由一個很短的線極尖（wire TIp）而逐漸收斂的50-Ω微帶線，通過探針基片上一個小孔而與被測器件（DUT）的壓點（pad）相接觸。此時，其技術(shù)難度在于如何突破4GHz時實現(xiàn)可重復(fù)測量。雖然有可能通過校準(zhǔn)過程來剔除一個接觸線極尖相對較大的串聯(lián)電感的影響，但當(dāng)圓晶片的夾具被移動時，線極尖的輻射阻抗會有較大的變化。高頻測量使用的極尖設(shè)計與用于直流和低頻測量的極尖不同，而且必須使50-Ω環(huán)境盡可能地接近于DUT壓點。
村田電纜探針主要用于實驗室評估。就是把探針與SMA接口延長了，在中間加了一斷細(xì)軟射頻線，長度通常為300mm，測量射頻電纜裝配探針。配合完成后，探針可憑借與連接器接觸點上的夾爪自行站立，配合完成后對探針施加的任何壓力都可能導(dǎo)致探針脫落，連接受損或電級剝離。需要細(xì)心使用測試。
常用型號有MXHS83QE3000,MXHQ87WJ3000,MXHQ87WA3000,MXHQ87PA3000,MXHQ87PK3000，
MXHQ87PP3000,MXHQ87PN3000等。

村田探針主要與帶開關(guān)的高頻同軸連接器和高頻同軸連接器相匹配來測試使用。不同型號的高頻同軸連接器對應(yīng)的村田探針型號也不相同，不同的排列方式也有不同體積的探針選擇。

村田探針主要有這幾種類型：村田無電纜探針，村田電纜探針，無浮動機構(gòu)的自動探針，帶浮動機構(gòu)的自動探針，自動探針（無張力型），校準(zhǔn)適配器。

村田自動探針（無張力型）可用于產(chǎn)線大批量測試，其與帶浮動機構(gòu)的自動探針功能相同，該探針具有結(jié)構(gòu)，因此不受電纜張力影響，該探針使轉(zhuǎn)換電纜更易操作。
其他一些相關(guān)的概念
Probe pitch：指的是針尖(Probe Tips)之間的間距，一般在50-1000um之間不等。對于毫米波頻率的應(yīng)用，針尖間距一般都比較小。
Probe skate :當(dāng)你在Z軸方向往下“按壓”探針時，當(dāng)探針接觸到DUT，它將在ZY平面彎曲移動。通常，這也是我們判斷針是否扎上的一個現(xiàn)象。
De-embeding :去嵌是在探針出現(xiàn)之前就有的技術(shù)，之前經(jīng)常用在一些標(biāo)準(zhǔn)的分立的夾具測試中。