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國(guó)內(nèi)氣冷式直排大氣羅茨泵進(jìn)展很快，技術(shù)上已經(jīng)成熟。由于這種泵在排氣口的下面裝有氣體冷卻器，其中一部分被冷卻的氣體通過(guò)管道返回泵腔以冷卻轉(zhuǎn)子，從而使壓縮熱得到平衡，所以這種泵可以直排大氣。

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旋片真空泵的泵溫太高。指低級(jí)排氣閥左近測(cè)得的高油溫超越運(yùn)用闡明書(shū)規(guī)則值。由于泵溫升高會(huì)使泵油粘度大幅降落，并使泵油的飽和蒸汽壓升高，使泵的極限壓力升高和抽氣效率降落；使橡膠件容易老化；熱收縮使運(yùn)轉(zhuǎn)間隙減少，特別是某些非金屬旋片的厚度方向和銅套內(nèi)孔間隙，影響泵運(yùn)轉(zhuǎn)的牢靠性。泵溫太高的緣由能夠是泵環(huán)境溫度太高，進(jìn)氣溫度太高，進(jìn)氣冷卻安裝失效，泵長(zhǎng)期連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)入口壓力太高；水冷泵冷卻水量缺乏，循環(huán)水設(shè)計(jì)效果不佳；溫控水量調(diào)理閥失效等。

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真空泵是一個(gè)量大面廣的產(chǎn)品，產(chǎn)量很大，產(chǎn)值不高，但它確實(shí)是一個(gè)直接影響到真空成套設(shè)備性能質(zhì)量的必不可少的基礎(chǔ)產(chǎn)品。真空泵的市場(chǎng)根據(jù)用戶(hù)的需要而發(fā)生動(dòng)態(tài)變化。市場(chǎng)增長(zhǎng)的主要驅(qū)動(dòng)力來(lái)自于半導(dǎo)體工業(yè)的迅速發(fā)展以及干泵和分子泵應(yīng)用領(lǐng)域的日益擴(kuò)大。  目前，全球真空泵市場(chǎng)的年銷(xiāo)售額約20億美元，年增長(zhǎng)率在7%左右。

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