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24um線性膨脹，所以必須有±0。1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因為人出汗以后，對產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導體車間，這種車間不宜超過25度。濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55%時，冷卻水管壁上會結露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。

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潔凈廠房的竣工驗收合格，并經(jīng)核實批準后，按要求進行功能驗收，功能驗收是在“靜態(tài)”進行測試，其主要測試內(nèi)容如下：

1 檢測空氣潔凈度等級;

2 生產(chǎn)工藝有要求者，還應進行微生物測試或化學污染物測試或特殊表面的潔凈度測試;

3 潔凈室(區(qū))的溫度、相對濕度的穩(wěn)定性測試;

4 檢測自凈時間;

5 檢測潔凈室(區(qū))的密閉性測試;

6 測定照度;

7 測定噪聲級;

8 需要時，確認和記錄氣流形式和換氣次數(shù);

9 其他需要進行的其他檢測項目。

對無塵室C/R而言，較嚴格要求的部分為地板、天花板，以及墻壁的部分。至于維修的問題，對材料的選擇是否容易清潔性及維修性都應有其優(yōu)先級。在應用力面、天花板、地板及墻壁三者之中很重要的為天花板，其包含HEPA及ULPA等濾網(wǎng)，其可過濾掉房間的微粒子，且其常會因各個不同的需要，便其分開來，供應各個不同區(qū)域的小房間，曾有人說：若建造之預算因某種原因被限制，除了少數(shù)的小錢外，其天花板將趨于更貴的地步，其實天花板是一個頗復雜的系統(tǒng)其必須嚴格地過濾粒子，故其設計必須準確。