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無(wú)塵車(chē)間的溫濕度主要是根據(jù)您的加工工藝要求來(lái)確定，在滿(mǎn)足加工工藝的條件下，應(yīng)該考慮人的舒適感。隨著空氣潔凈度要求的提高，工藝對(duì)溫濕度的要求也越來(lái)越高，必須達(dá)到一定的溫濕度等級(jí)。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。直徑100um的硅片，溫度上升1度，就引起了0。

然而對(duì)于大部分潔凈空間，為了防止外界污染侵入，需要保持內(nèi)部的壓力(靜壓)高于外部的壓力(靜壓)。壓力差的維持一般應(yīng)

符合以下原則：

1、潔凈度級(jí)別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級(jí)別低的空間的壓力。

2、相通潔凈室之間的門(mén)要開(kāi)向潔凈度級(jí)別高的房間。

3、潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。

壓力差的維持依靠新風(fēng)量，這個(gè)新風(fēng)量要能補(bǔ)償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄(或滲透)風(fēng)量通過(guò)潔凈室的各種縫隙時(shí)的阻力。

清潔車(chē)間不同空氣潔凈度的空氣過(guò)濾器的選擇和布置：對(duì)于300,000級(jí)空氣凈化處理，可以使用亞過(guò)濾器代替過(guò)濾器; 100,10000和100000空氣的空氣潔凈度對(duì)于凈化處理，應(yīng)使用用于初級(jí)，中級(jí)和過(guò)濾器的三級(jí)過(guò)濾器;中效或空氣過(guò)濾器應(yīng)根據(jù)小于或等于額定風(fēng)量選擇;中效空氣過(guò)濾器應(yīng)集中在凈化空調(diào)的正壓段;應(yīng)在吹掃空調(diào)系統(tǒng)的末端放置或低效的空氣過(guò)濾器。