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氣體配氣儀-氣體配氣儀公司-曉韜科技
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右側部分為氣路原理
用戶可以明確地知道氣路原理與氣路基本構成,并可通過手動方式,控制內部截止閥(V1-V6的開關)
INLET1 - 設備所用背景氣,一般為空氣或氮氣。
INLET2 – 原料氣,用戶可通過列表選擇多種氣體種類。
初級儲氣罐 - 用于二次配氣時儲存初級配比出的一定濃度氣體,系統(tǒng)自動維持壓力在0.5MPa以下,在使用二級配氣條件下,初級儲氣罐自動維持壓力在0.45-0.5MPa上下,用以滿足二級配氣下MFC4的正常工作使用壓差。
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配氣儀介紹
目前市面上多見的有兩種原理的配氣儀,一種是三通電磁閥原理,另一種是質量流量計原理。根據用戶需要可自行選擇。
利用單片機控制高速三通電磁閥,通過對兩路氣體通斷進行選擇,從而達到調節(jié)每一路氣體的采樣量,獲得設定濃度的氣體,從而實現(xiàn)氣體配比。
電磁閥原理的配氣儀的優(yōu)點是氣體適用范圍比較廣,精度高(可大1%),操作比較簡單,價格相對較低。常規(guī)氣體,無需經過特殊設置或換算,就可以直接使用。對于氣體種類和所要配比的濃度,在儀器出廠前不需要調教。
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配氣儀原理
配氣原理為質量流量混合法。采用的質量流量控制器,控制器稀釋氣體及組分氣體的流量。稀釋氣體可采用高純氮氣、純凈空氣等。組分氣可以使用純氣或一定濃度的混合標氣。通過準確的設置,便可配置出 10-8 -10-2含量的各種標準氣體。
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