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干式真空泵

深圳銳誠真空技術有限公司座落于廣東深圳，在北京、浙江設有售后辦事處。是一家專門從事各種真空應用設備制造，集研發(fā)、生產(chǎn)和銷售于一體的民營高科技企業(yè)。主營產(chǎn)品：真空設備，檢漏儀，微水儀，lng抽真空系統(tǒng)，非標真空設備，真空標準件以及真空設備的維護保養(yǎng)。

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干式真空泵主要有下列幾種形式:

雙圓裂片式

雙圓裂片式設計和目前l(fā)iu行和廣泛應用的羅茨泵非常相似。事實上，一些早期的干泵設計思想就是將羅茨泵疊加起來。這種多級設計使得氣體通路相當復雜，并且每一級都需要較大流量的氮氣起到稀釋和隔離作用。同時，為了達到好的真空度，對各級的間隙有非常嚴格的要求。當然，這種設計由于增加了內部的壓縮比而使得其耗電量相對較低。

三葉圓裂片式

三葉圓裂片式設計和雙圓裂片式設計的原理完全相同，只是在旋轉一圈中將氣體分為三份而不是像雙圓裂片式分為兩份。這兩種設計有著相同的優(yōu)點和缺點。為了進一步降低耗電量，在傳動部分有的廠家選用兩個直流馬達，但這也會導致扭矩減小，重新啟動的能力-下降。同雙圓裂片式設計一樣，三葉圓裂片式設計的每一級都需要較大流量的氮氣來起到稀釋和隔離作用。

組合式(羅茨+爪)

組合式(羅茨+爪)設計用羅茨來提高在較低壓力下的抽氣效率，用爪來提高在較高壓力下的抽氣效率。它的基本原理和氣體通路同前面介紹的圓裂片式設計完全相同。也有些廠家將其后一級改為星型設計，這樣可以在旋轉一圈中將氣體分為五份，就像三圓裂片式設計可以將其分為三份。同樣，在很多工藝中，組合式設計的每一級都需要較大流量的氮氣來起到稀釋和隔離作用。

外部壓縮型螺桿式

在外部壓縮型螺桿式設計中，使用一對等距螺桿。這使得內部壓縮減到xiao，同時使得氣體通路短也簡單。這樣，氣體在泵體內停留的時間也短。雖然這種設計由于減少了內部的壓縮比而使得其耗電量相對較高，但在很多復雜的半導體工藝中表現(xiàn)出極高的穩(wěn)定性。這種單級設計使得其對氮氣用量的要求也非常小而且簡單，這樣就使得其在不同工藝中有很好的互換性。在很多清潔的工藝中甚至可以不用氮氣。

內部壓縮型螺桿式

除了使用一對非等距螺桿以外，內部壓縮型螺桿式設計和外部壓縮型螺桿式設計的基本原理非常相似。螺桿間容積的不斷減小使得其內部產(chǎn)生壓縮。這種設計由于產(chǎn)生內部壓縮而使得其耗電量降低到同多級泵相當?shù)乃?。但在很多工藝中，這種內部壓縮同多級泵一樣，極易造成氣體在泵體內的物理化學變化而產(chǎn)生固化或液化。

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真空泵

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羅茨泵從國外羅茨泵生產(chǎn)情況來看，國外幾家大公司，如Leybold、Balzers、Alcatell、和ULVAC，他們各家羅茨泵的銷售額占全球羅茨泵銷售額的比例都沒超過5%，這5家總計才20%，羅茨泵產(chǎn)量不大，但國外羅茨泵的價格遠比國產(chǎn)泵要高得多。國內外幾乎所有大型或小型的高真空和中真空系統(tǒng)，為了縮短抽氣時間、提高生產(chǎn)效率都配有羅茨泵，所以國產(chǎn)羅茨泵一定要在占領國內市場基礎上設法進入國際市場另外，還要考慮到有些國家和地區(qū)的電源頻率為60Hz，更要確保羅茨泵在提高轉速的情況下長期運行的可靠性。國內氣冷式直排大氣羅茨泵進展很快，技術上已經(jīng)成熟。由于這種泵在排氣口的下面裝有氣體冷卻器，其中一部分被冷卻的氣體通過管道返回泵腔以冷卻轉子，從而使壓縮熱得到平衡，所以這種泵可以直排大氣。為了滿足不同極限真空度的要求，這種泵可以串聯(lián)使用，一般前面加一臺氣冷式直排大氣羅茨泵，所達到的極限真空要比前級泵高一個數(shù)量級。這種泵由于在泵腔內沒有工作介質，實際上也是屬于干泵。這種氣冷式直排大氣羅茨泵及機組已經(jīng)在石油、化工、塑料、汽輪機轉子動平衡、航空航天空間模擬等裝置上得到了長期運行的考驗，所以應該在國內大力推廣和應用。

分子泵分子泵在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速，國外在分子泵的入口側裝一個-130℃～-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分子泵，水蒸氣被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應用，既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質量。隨著中國半導體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學研究事業(yè)迅速發(fā)展，分子泵應該是中國真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點。首先，分子泵要從小到大建立完整系列，以滿足不同場合的需要。

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真空設備檢漏與維修

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真空箱檢漏真空箱檢漏

隨著壓力容器出口產(chǎn)品的增加及各制造企業(yè)對產(chǎn)品質量的重視，氦質譜檢漏方法在我國的壓力容器制造業(yè)中的應用也逐年遞增。氦質譜檢漏方法（以下簡稱氦檢）以其高靈敏度和準確性而通常應用于整體防漏等級較高的壓力容器上。氦檢方法基本上可分為用氦氣內部加壓法和設備內部抽真空外部施氦這兩種，由于后者需將設備完全抽成真空狀態(tài),往往會增加試驗用設備（如高、低壓真空泵、真空閥等）和設備工裝（如外壓加強圈）而使造價提高，所以該方法通常用于容積小而厚壁的設備；對于大多數(shù)壓力容器而言，通常優(yōu)先選用前一種方法。

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