ZYGO-3D光學表面輪廓(粗糙)度測量儀
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所有的3D表面輪廓儀都可以為您提供高速、非接觸、三維定量的表面形貌測量。系統(tǒng)配置ZYGO綜合測量軟件包,MetroPro?
可以提供三維和二維表面特征,實時顯示以及應(yīng)用處理選項。MetroPro?
所提供的友好直觀的人機交互界面,包括自動控制、密碼保護、統(tǒng)計數(shù)據(jù)庫、可編程腳本、
用戶自定義界面、自行設(shè)置合格/不合格標準等。


應(yīng)用之———測量亞納米表面形貌
眾所周知,白光光學輪廓儀可以用來測量表面形貌。隨著機械精度和光學加工能力的提高,超光滑或者次納米表面的加工越來越普及,這些表面的量化已成為過程控制的關(guān)鍵。
在對超光滑表面進行定量測量時,首先要清楚每一個測量系統(tǒng),均存在其固有本底噪音。這些噪音來源電子噪音,接收器噪音、參考表面的微小不平整以及測量環(huán)境引起的微小振動等。對大多數(shù)樣品,NewView系統(tǒng)的測量噪音基本上可以忽略,因為所測量的結(jié)果遠大于本底噪音。但對于非常光滑的表面,本底噪音就得加以考慮,對這些樣品測量超光滑表面需要清楚知道噪聲的來源并加以很好的控制。
測量超光滑表面需要對測量環(huán)境很好的控制,理想的測量環(huán)境是:
l 機械和聲波的最小化
l 在測量時間內(nèi)嚴格控制溫度的變化,使樣品物鏡環(huán)境溫度變化最小化
l 嚴格控制物鏡和樣品之間的氣流,使氣流對測量影響最小化
許多噪聲可以通過以下的方法來減少和減低,一是很好控制測量環(huán)境,如聲波、氣流、溫度及其變化等;二是進行多次測量并將測量結(jié)果加以平均從而獲得很好的測量結(jié)果,下圖是測量過程示意圖

通過上描述的方法和測量過程,可以證明ZYGO有能力測量粗糙度小于0.05mm的光滑表面,很好的控制環(huán)境并選擇合適的內(nèi)部精度以及基于系統(tǒng)優(yōu)化函數(shù)的位相平均次數(shù),能夠讓光學輪廓儀測量高質(zhì)量的表面形貌。因此,NewViewTM8300的高采用速度和分辨率使得超光滑表面測量變得輕而易舉。
應(yīng)用之二——機械加工的應(yīng)用
傳統(tǒng)的機械零件由于受加工設(shè)備的限制,對精度包平面度,粗糙度的要求常規(guī)情況下停留在微米量級,但隨著技術(shù)發(fā)展,人們對機械加工的精度要求開始向納米量級邁進,設(shè)備的加工精度的提高帶來檢測技術(shù)的發(fā)展,傳統(tǒng)的檢測手段包括接觸式和2D方式的檢測方法對檢測納米量級精度的機械零件有很大的局限性

創(chuàng)建于-九九二年,是浙江省專業(yè)經(jīng)營各類檢測儀器、設(shè)備的工貿(mào)企業(yè),并自營和代理各類商品及技術(shù)的進口業(yè)務(wù)。公司經(jīng)營的檢測儀器為生產(chǎn)、科研、教學領(lǐng)域等國內(nèi)外用戶提供了優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品和服務(wù)。
公司現(xiàn)有員工100多人,擁有工程技術(shù)人員30多人,固定資產(chǎn)達到8000多萬。銷售、技術(shù)隊伍強大、在玉環(huán)、臺州、溫州、寧波、杭州、等地設(shè)有分公司及辦事處,銷售網(wǎng)絡(luò)及技術(shù)服務(wù)網(wǎng)絡(luò)強大,“售前技術(shù)咨詢,集中技術(shù)培訓,售后技術(shù)服務(wù)”竭誠的為您提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品和完善的服務(wù)。
保證您的滿意是我們的追求,實現(xiàn)您的理想是我們工作的動力,我們將一如既往地提高產(chǎn)品的科技含量和服務(wù)水平滿足用戶的需求為最終目的。我們衷心希望與您友好合作,實現(xiàn)雙贏,共創(chuàng)輝煌。



